普旭真空系统-进口真空系统-真空系统

在真空炉维修中经常会出现真空系统达不到---真空度或抽空时间过长，通过什么办法可以找到其原因，并加以消除？下面我们一起去看看！

首---行真空系统是否漏气的判断，通常用静态压升法来判断。即容器抽到一定的压强后，关闭真空阀门将被抽容器与泵隔开，由于容器的漏气和材料的放气，真空系统，容器中的压强将随时间的增加而变化，用相应的真空计每隔一定时间测量一次容器中的压强，就能绘出压强---时间曲线，爱德华真空系统，

漏孔校准采用四极质谱比对法校准。比对法校准较小漏率真空漏孔时，普旭真空系统，为了得到与被校漏孔相同或相近的气体流量，爱发科真空系统，一般采用固定流导法作为标准气体流量获得的手段，该方法具有结构简单、操作方便、测量不确定度小、校准精度---优点。

　　原理为利用已知流量的标准漏孔，通过稳压室压力的调节，向双球校准室注入稳定流量的气体，并利用分子泵机组对真空校准室持续抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室压力维持在合适的校准压力范围内，为校准室建立起漏孔气体的动态平衡。首先利用四极质谱计获得标准漏孔的离子流参数，再切换到被较漏孔，获得被较漏孔状态下的四极质谱计离子流。通过公式(1)计算得出被较漏孔漏率数值。