真空机组的构成与分类
真空机组一般由下列元件构成:各种真空泵;真空测量装置;真空阀门;真空管道和一些其它元件,例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。
按机组的工作压力分,有粗真空机组(>;1330pa);低真空机组(1330~0.13pa);高真空机组(0.13~1.3×10-6 pa);真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 pa);---真空机组(<1.2×10-11pa)。
事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,莱宝真空系统,通常在真空系统中串联一个高真空泵,比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后,普旭真空系统,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,真空系统,这样就构成了一个较完善的高真空系统。
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