爱德华罗茨泵eh250-横沥爱德华罗茨泵-明胜机电

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*r，-2* a * r.-r                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，爱德华罗茨泵eh4200，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么sth可表达为下式:

                     s1，=2仇、---ol卜(5.2)

   其中vii， vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速s要低于理论抽速sth，设p:为吸入口压力，p:为排气口压力，爱德华罗茨泵eh250，

q。为总泄漏，则〔10)

                                 s*pl=sw*p，司t

则实际抽速为

       g

j=j*一下了

         r，

(5.3)

5.1.3---压力

   涡旋式无油真空泵的---压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用p。表示。此时泵的实际抽速s=o，横沥爱德华罗茨泵，令式((5.3)中的实际

抽速s=o，即可得---压力〔10)

(5.4)