真空系统-明胜机电-工艺真空系统

真空系统。是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、---过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，真空镀膜系统，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由---的plc控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

水冷式真空机组：

本机组由水环真空泵，气液分离器，工艺真空系统，热换器、真空阀门，真空仪表，智能控制箱，真空罐和相应管道阀门等组成的成套机组。

真空机组主要特点：

1、机组作为成套设备供货，包含气液分离器、换热器、机架、内部管线等附件，可以---缩短用户现场安装调试周期。

2、结构设计紧凑，占地空间小。

3、安装简单，操作和保养快捷，维护量小，运行成本低。

4、运行平稳，噪音低，清洁度高。

5、工作液闭式循环，---减小了水资源的浪费和对环境的污染。

6、控温设计，可全天24小时满负荷运作。

7、整机内部无需用油，是清洁的设备。

8、适用于---环境，工况下使用。

9、运行需提供外置冷却水，间接冷却，不污染冷却水。