真空体系其实就是真空机组的一个相似的称号，真空机组，真空机组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备，它不见得有一些比如散热器，冷凝器等等设备存在。而一般能称为真空体系的肯定是各种零部件完全。真空使用设备品种繁复，但不管何种真空使用设备都有一套扫除被抽容器内气体的抽气体系，锂电真空机组，以便在真空容器内取得所需求的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵衔接起来，当真空泵对容器进行抽暇时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个简略的真空抽气体系。
那么真空体系相比较于机组来说有多少泵组成呢?这个是不确定的，先来认识一下可能存在的泵的名词解释。
(1)主泵：在真空体系中，用于取得所需求真空度来满意特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油分散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于保持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前装备的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从---压下开端抽气，并将体系压力抽到另一真空泵开端作业的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)保持泵：在真空体系中，气量很小时，不能有效地使用前级泵。为此装备一种容量较小的辅佐泵来保持主泵作业，此泵叫保持泵。如分散泵出口处配一台小型旋片泵，就是保持泵。
事实上简略的真空体系仅仅能取得一个粗真空，而想要取得高真空时，一般在真空体系中串联一个高真空泵，比如罗茨泵和螺杆泵等都是取得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后，一般要在高真空泵的进口和出口别离加上阀门，以便高真空泵能独自保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油分散泵，为了防止很多的油蒸气返流进入被抽容器，一般在油分散泵的进口加一个捕集器——水冷障板。依据要求，还能够在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软衔接管道、真空泵进口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空体系。
启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，半导体真空机组，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。
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真空负压站 真空系统 真空吸附系统自一次启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。其工作中，真空系统内各处的真空度始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。一台启动达不到真空时第二台启动至达到设定的真空值当达到后一台停再第二台停循环工作，移动式真空机组，真空负压站 真空系统 真空吸附系统装置在无人操作情况下对系统进行自动控制，在停电时可自动封闭真空系统。同时控制箱可以保护真空泵马达过载及短路。
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