沥林真空系统-真空系统维修-半导体真空系统

真空系统。是由真空泵、plc程序操控系统、储气罐、真空管道、真空阀门、---过滤总成等组成的成套真空系统。现在，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等职业。该真空系统出厂时现已包含了抽速操控、进气过滤、首要运转数据显现、运转维护及长途操控接口等。只需要在现场进行简略的连接电源和管道，即可以组成一个完好的真空系统。该真空系统的操控系统由---的plc操控系统通过编程后组成，以触摸屏为人机界面，完成对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和履行、报警维护系统等的全自动化操控。

惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修保养服务（罗茨，螺杆，半导体真空系统，旋片式，干式，沥林真空系统，水环式等真空泵维修保养）以及各类进口真空泵配件耗材。服务品牌：普旭（博世）、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。

油式旋片真空泵主要优点：

1.易于安装及保养

2.油镜视窗大，便于确认油污染状况

3.直接驱动，免皮带.齿轮松弛或损耗

4.高抽速，工艺真空系统，真空度稳定，噪音小，震动低

5.空气冷却，散热效果好，医院真空系统，螺栓固定泵浦

6.内置油雾分离器，有效避免油气制程污染，洁净环境

7.泵带气镇阀装置，可过滤一定量水蒸气与可凝性气体，---

8.进气口装有逆止阀，当泵停止时，逆止阀能有效避免油气逆流

用途：

主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。