里其乐真空系统-真空系统设计-真空系统

油式旋片真空泵主要优点：

1.易于安装及保养

2.油镜视窗大，便于确认油污染状况

3.直接驱动，免皮带.齿轮松弛或损耗

4.高抽速，真空度稳定，噪音小，震动低

5.空气冷却，散热效果好，真空系统，螺栓固定泵浦

6.内置油雾分离器，有效避免油气制程污染，洁净环境

7.泵带气镇阀装置，可过滤一定量水蒸气与可凝性气体，---

8.进气口装有逆止阀，当泵停止时，逆止阀能有效避免油气逆流

用途：

主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。

真空系统。是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、---过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，贝克真空系统，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由---的plc控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。