真空系统维修-真空领域20年-真空系统

真空机组的构成与分类

真空机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

按机组的工作压力分，锂电真空系统设计安装，有粗真空机组(>;1330pa)；低真空机组(1330~0.13pa)；高真空机组(0.13~1.3×10-6 pa)；真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 pa)；---真空机组(<1.2×10-11pa)。

系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 pa。---的泵可以取得10-9 pa的---压力，分子泵首要用作真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对---排气，需要装备前级泵，真空系统管路铺设，而且其首要功能(---压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，体系中可充分利用空间的真空环境，省去分子泵的前级泵。