扩散泵:以低压高速蒸气流(油、蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,无油真空泵批发,这种进口真空泵适于在分子流状态下工作。可分为:
自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域:
半导体行业 —— 薄膜制备设备、半导体器件封装设备;
真空冶金行业 —— 真空炉、纳米材料制备设备 、真空检测设备;
科学仪器行业 —— 同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;
医yi用设备 —— 透析机;
生物制品行业 —— 材料提纯、---制备;
包装行业 —— 食品、---、生物制品等包装设备。
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