概述

em 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。

e2m28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行---的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

应用分析仪器 - lcms汽车射束线和高能物理速离心机覆层低温学脱气/--- - 油，环氧树脂蒸馏/萃取/过滤冷冻干燥熔炉气瓶充气/排空凝胶体干燥手套式操作箱，干燥炉实验室工作台上真空激光机、   气体回收和再循环---检漏仪负载锁和传输腔冷冻制造旋转离心蒸发器溶剂回收表面科学仪器涡轮分子前级泵 技术数据

　e2m18e2m28e1m18排量 (50hz)20.5 m3h-1/32.2 m3h-120.5 m3h-1/　12.1 ft3min-1 19 ft3min-112.1 ft3min-1排量 (60hz)25.0 m3h-1/38.9 m3h-125.0 m3h-1/　14.7 ft3min-116.2 ft3min-114.7 ft3min-1速度 (pneurop 6602) 50 hz17.0 m3h-1/27.5 m3h-117.0 m3h-1/　10 ft3min-116.2 ft3min-110 ft3min-1速度 (pneurop 6602) 60hz20.4 m3h-1/33.0 m3h-120.4 m3h-1/　12.1 ft3min-1 19.5 ft3min-112.1 ft3min-1---真空（总压力）　　　  

认为真空泵机组内密封水量不足，造成真空泵机组底部水量未充满，气水分离器内的空气漏入真空泵内，使得真空泵内的负压形成得不够高，喷射器的工作抽吸力不足。据此临时采用手动启动方式，先启动密封水泵运行5min，然后再启动真空泵，这样有效地控制了真空的降低，同时将冷却器进行清理(发现冷却器内较脏)，---了密封水量充足。采取以上措施后，在倒换真空泵组运行过程中，未再有真空下降的异常发生。冷凝半导体制程的某些副产品含有气体，当气体分压增加或与冷表面接触时，这些气体会从气相变为固相。

真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真---免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。

真空泵真空度降低该怎么办？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。