概述

eh 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于---压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度---。

应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、co2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的---性。

eh 泵具有高的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

---的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用---级铸铁制造。

经验证的轴封布置可---没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

轴封的设计经过优化，可---润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是---技术设备的制造商所需要的。

订购信息

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真空泵油注意事项：

1、真空泵油在密封条件下保质期可以达到3-5年

2、新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每工作1000-1500小时更换一次。(注：使用环境比较恶

劣要经常观察泵油颜色）

3、检查油位镜，当泵油变成黄褐色转入黑色或变成乳白色，需要更换真空泵油。

4、合理地选用真空泵油, 将会对泵的---分压力、---全压力、起动、功率消耗、泵温、泵性能的稳

定性、真空泵的使用寿命都有好的帮助。

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使用真空泵机组时需要注意什么?

1、在蒸馏系统和真空泵机组之间，必须装有吸收装置。

2、蒸馏前必须用水泵---抽去系统中溶剂的蒸气。

3、如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。

4、真空泵机组腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。

5、减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。